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微電子機械系統在硅谷的發展及其對壓力傳感器技術的影響
現在人們對高技術談論最多的莫過于MEMS-微電子機械系統.MEMS實際上意味著一種能力,即利用IC技術研制可控的、機械式可動結構.目前該項技術商業化最成功的例子是微機械壓力傳感器.傳感器,尤其是壓力傳感器主要用作臨界狀態監測,確定傳感器的可行性.因此,傳感器通常有一種重要的平衡因素,即傳感器本身生產成本應低于其所構成系統成本幾個數量級.例如,對于一輛價值2.5萬元的汽車,為保證其燃料有效利用、降低空氣污染所使用的傳感器價格應在10美元左右.最早的硅壓力傳感器價格昂貴,只能用于一些特殊的領域如航空,而在近十年,硅微機械加工生產技術的進步開辟了許多新的低成本市場.
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